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스핀코터시스템

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보유기관명	순천대학교 산학협력단
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C209
표준분류명
시설장비 설명	본 시스템은 고분자 박막 필름 광 감응유기용제 (Photo Resist ) 제조방법 중 가장 널리 쓰이는 장비로서 코팅하고자 하는 시료(Wafer Glass...)의 표면 위에 용액(solution)을 떨어뜨린 후 설정 된 Recipe( rpm Acceleration time ... )에 의해 코팅하고자 하는 시료를 회전시켜 그때 생기는 원심력으로 박막을 균일하게 도포하는 시험용 장치임. 구성 - Main Frame - Coating Bowl - Sample Chuck - Vacuum pump - Control Pane - Dispenser system 분류 - 종류 : Spin coater ( 회전 도포기 ) - 파워 : 220VAC 100W - 속도 : 200 ~ 7000 rpm - 작업반경 : 1000 x 1000
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110121181505.JPG
장비위치주소	순천시 매곡동 315번지 순천대학교 WCU사업단 1층 108호실
NFEC 등록번호	NFEC-2011-01-135519
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0023157
첨부파일

기업조회