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장비 및 시설 기본정보
유기 세정 장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 에이치아이티 |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2006-06-22 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 대구경북과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C502 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 - Photo 공정 후 노광된 부분의 PR을 제거하기 위한 설비 - 기판의 이물질을 제거하기 위해 chemical을 사용하여 세정 공정을 진행구성및성능 Acid Bath Rinse Bath 1. DHF Bath. 2. H2SO4 Bath. 3. ACID Bath. 4. RINSE Bath.(3 SET) 5. DEEPING Bath활용분야 PR 제거 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/200712/.thumb/20071210174033.JPG |
| 장비위치주소 | 대구 달성군 현풍면 상리 50-1 대구경북과학기술원 중앙기기센터 2층 205 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-12-049194 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0007661 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |