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플라즈마 나노분말 합성 코팅 장치

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보유기관명	한국에너지기술연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C209
표준분류명	생산
시설장비 설명	A.특징: 고온 열프라즈마의 용융 원리를 이용하여 나노복합물질의 합성과 코팅을 동시에 할 수 있는 장치이며, 본 장치는 KIER 이 독자적으로 설계 개발하였음. 주 배기구 (NW40) 14) 자동공정압력조절밸브(Auto Pressure Control Valve) : DOWN STREAM - BRAND : MKS OR EQUIVALENT 15) 가스유량조절기(MFC: Mass Flow Controller): Three position 공급 방식의 가스라인 및 밸브 구성 16) 히터(Heater): 최고온도 섭씨700도까지 승온 가능, 시편처리 : MAX 4 INCH, T.C WAFER (5 POINT) 및 측정계 포함 17) 시편냉각장치 : 히터 장착포트 호환형, COOLING BLOCK : 무산소동 18) 밴트댐퍼장치(Vent damper module): Vent시 부유 오염입자 최소화
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201101/20110105131304.jpg
장비위치주소	한국에너지기술연구원 제1연구동
NFEC 등록번호	NFEC-2011-01-132184
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-201712263040
첨부파일

기업조회