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장비 및 시설 기본정보
대면적나노패턴기판세정장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 두리텍 |
| 모델명 | DR11-140 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2011-12-21 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기계연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C219 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 370x470 크기 기판 또는 마스터의 전용 세정 및 기상방식 표면처리용 장비임. 임프린트 등의 접촉식 마스터 나노패턴의 전사방식을 토대로 한 공정기술이기 때문에 무엇보다도 접촉에 따른 Defect를 제거하는 것이 기본적으로 중요하다. 또한 기판과 스탬프의 표면처리도 중요하며 이를 위해 우선적으로 세정작업이 수행되어야 한다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201202/20120207142204.JPG |
| 장비위치주소 | 한국기계연구원 메카트로닉스연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-02-153915 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-KIMM-00016 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |