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장비 및 시설 기본정보
디스플레이 기판 박막스핀코터
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 엘티에스 |
| 모델명 | LT-SS SC370 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2013-11-06 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기계연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C502 |
| 표준분류명 | 생산 |
| 시설장비 설명 | 회전력으로 수직하방 압력이 작용하게 되며 이 힘으로 박막두께를 100nm 이하로까지 낮출 수 있음. 스핀코팅은 이미 오래전 박막증착 메커니즘으로 잘 알려져 있음. 본 대면적 스핀코터는 lock-type 으로 챔버가 같이 돌면서 와류에 의한 edge 부분 비균일성을 없애면서 저속에서 초박막 두께 구현이 가능하고 대면적 균일성을 확보할 수 있는 장비이다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201401/20140107141643837.JPG |
| 장비위치주소 | 한국기계연구원 메카트로닉스연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-01-184765 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0043407 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |