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장비 및 시설 기본정보
RF 스퍼터링 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 코리아바큠테크(Korea Vacuum Tech) |
| 모델명 | KVS-3003 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-11-24 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C506 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 가스 센서용 3차원 나노구조체 세라믹 소재 개발 연구 수행 중 나노구조체 박막의 제조를 위해 경사각 증착 (Glancing Angle Deposition)이 가능하도록 설계된 산화물 박막의 진공 증착 장비 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201108/20110825150602.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 청정연구동(L6) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2009-12-078750 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0017497 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |