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장비 및 시설 기본정보
나노박막 두께 측정 장비
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 케이맥(K-MAC) |
| 모델명 | ST-4000-DLX |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2015-09-11 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국생산기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F202 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 본장비의 특징으로 적용기판 : 200 x 200 mm 이하, 측정대상은 c-Si Wafer, SiO2, metal, 두께는 10 nm에서 50 um , CCD Camera, Repeatability : 10회 반복 측정 시 ± 5A at 5000 A Optical Lens : M5x, M10x기능을 가지고 있음. 장치 구성으로는 Manual X,Y Stage unit, Manual Focusing Module unit, Reflection Probe unit ,Illuminator & Lamp 로 구성되어있음 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201510/20151008123817153.png |
| 장비위치주소 | 한국생산기술연구원 충북테크노파크 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-10-205352 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-kitech-00834 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |