| 시설장비 설명 |
1. 본 기기는 테이블 탑 타입의 캐리어 라이프타임 측정기기로서 다양한 단계의 단결정 및 다결정 실리콘의 캐리어 라이프타임을 측정할 수 있다. 2. 본 기기는 마이크로웨이브 흡수 디텍팅 방식으로 비접촉, 비파괴로 Carrier lifetime을 측정한다. 3. 본 기기는 단결정 및 다결정 실리콘, Ge, SiGe, GaAs, InP, SiC, GaN, epitaxial layer등 광범위한 재료에 적용된다. 4. 본 기기는 MDP(Microwave Detected Photoconductivity_steady state)와 u-PCD(non equilibrium)의 2가지 방식을 제공할 수 있다. 5. 본 기기는 brick이나 wafer, cell의 Carrier lifetime를 별도의 전처리 없이 바로 측정하며 50um부터 210mm 까지 높이가 조절 가능하다. 6. 1mm 침투 깊이는 시료의 표면 뿐만이 아니라 bulk 시료의 균일성에 대해 효율적인 측정이 가능하다. 7. 본 기기의 측정시간은 1포인트 당 수백 us이다. 8. 본 기기는 윈도우 기반의 PC에 의해 구동되는 Software를 제공하고, 간단한 동작 버튼 으로 쉽게 구동된다. |
