- HOME
- 홈페이지 이용안내
장비 및 시설 기본정보
웨이퍼본더
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 비앤피사이언스 |
| 모델명 | TPS-100A-AF-A |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2003-12-02 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C500 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | - 적정한 온도와 압력을 이용하여 웨이퍼와 웨이퍼, 웨이퍼와 글라스를 본딩 하는 장비 - 웨이퍼 2장을 맞댄 상태에서 압력과 열을 가함 - 이런 과정을 충분히 거치면 2장의 웨이퍼가 붙음 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201507/20150703155925812.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 청정연구동(L6) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-07-203528 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0057494 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |