| 시설장비 설명 |
1. 405nm 이상의 LD 레이저 장착으로 고해상도의 3차원 관찰과 실시간 관찰이 가능한 레이저 현미경 2. 평면분해능 0.12um 이상, Z축 표시분해능 1nm 이상 3. 비접촉, 비파괴 방식으로, 고정밀의 측정 및 roughness 분석이 가능 3. 국제규격으로 정확도와 정밀도가 동시보증 4. 하드웨어 DIC가 레이저 이미지에 적용 가능 5. 17,000배 이상의 선명한 영상 구현이 가능 6. 모터라이징 스테이지 100mm*100mm 이상 7. 모토라이징 리볼버 장착 필수 8. roughness 측정은 반드시 Gaussian 필터와 같이 국제규격의 parmameter 및 filter를 제공 9. 보안을 위해, ID별 접속 및 관리 기능 포함 10. 100mm의 선조도 분석이 가능 11. 각진 샘플을 손쉽게 관찰 가능 12. 높이, 폭, 파티클 분석, 선 roughness, 면 roughness, 부피,면적 등 다양한 측정이 가능 13. 이미지 스티칭을 통해서 600장 이상의 스티칭이 가능 14. 한글소프트웨어 적용 가능 15. 최대 4096*4096 픽셀의 고해상도로 표현 가능 16. 파티클 분석 소프프 장착 17. 최대 관찰범위가 2560um 이상 |
