나노전자원 진공 밀봉 전기로 시스템
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | 에피온 |
모델명 | HTVS2 |
장비사양 | |
취득일자 | 2012-04-25 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국전자통신연구원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | C601 |
표준분류명 | 생산 |
시설장비 설명 | 탄소나노튜브(CNT) 등을 이용한 나노전자원과 코바등의 금속가공물, 세라믹등의 절연물을 진공 브레이징 공정으로 밀봉하여 전계전자방출소자를 제작하는 사용됨. 깨끗한 사용환경이 요구되며, 본래 목적이 아닌 다른 용도로 사용시 오염의 원인이 될 수 있음. |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201205/20120503150636.jpg |
장비위치주소 | 한국전자통신연구원 2동 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2012-05-162741 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0050897 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |