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장비 및 시설 기본정보

전자현미경

장비 개요

기관명, 장비번호, 제작사, 모델명, 장비사양, 취득일자, 취득금액 순으로 구성된 표입니다.
기관명 ZEUS
장비번호
제작사 Hitachi
모델명 S2700
장비사양
취득일자 1993-05-11
취득금액

보유기관 및 이용정보

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명 한국전기연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드 A206
표준분류명
시설장비 설명 1993년에 구입한 장비로서 국가과제고유번호가 별도로 없읍니다.
- 가속된 전자빔을 시료에 조사할 때 표면에서 발생되어 나오는 2차 전자, 후방산란 전자를 받아들이고 그 신호를 영상화시켜 마이크로 영역 관찰이 가능하게 한 대표적인 표면 분석 장비.
- 전자빔을 받은 시료는 특성 X-선을 방출하게 되는데, 이 특성 X-선의 에너지를 분석하여 시료의 화학조성에 대한 정성 및 정량분석 가능.-. Accelerating Voltage : 0.2 ~30kV
-. Magnification : x15 ~ x300,000
-. Resolution : 4nm
-. Electron gun : tungsten-filament gun
-. 분석 장비: EDS, WDS, BSE,-. 금속, 무기재료, 반도체, 섬유, 고분자, 천연재료 등 광범위 시료의 미세구조 관찰
-. 미생물과 금속, 무기 재료 등의 미세분말(powder) 시료의 입자 형태 및 크기 관찰
-. 동. 식물 세포의 미세구조 관찰
-. 반도체 등의 박막 두께 측정
장비이미지코드 http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201410/.thumb/20141022143457590.jpg
장비위치주소 경남 창원시 성산구 성주동 28-1 한국전기연구원 제3연구동 1층 3108
NFEC 등록번호 NFEC-2014-12-194031
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0046581
첨부파일

추가정보

과학기술표준분류, ICT 기술분류, 주제어 순으로 구성된 표입니다.
과학기술표준분류
ICT 기술분류
주제어 (키워드)