전자현미경
기관명 | ZEUS |
---|---|
장비번호 | |
제작사 | Hitachi |
모델명 | S2700 |
장비사양 | |
취득일자 | 1993-05-11 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국전기연구원 |
---|---|
보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | A206 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 1993년에 구입한 장비로서 국가과제고유번호가 별도로 없읍니다. - 가속된 전자빔을 시료에 조사할 때 표면에서 발생되어 나오는 2차 전자, 후방산란 전자를 받아들이고 그 신호를 영상화시켜 마이크로 영역 관찰이 가능하게 한 대표적인 표면 분석 장비. - 전자빔을 받은 시료는 특성 X-선을 방출하게 되는데, 이 특성 X-선의 에너지를 분석하여 시료의 화학조성에 대한 정성 및 정량분석 가능.-. Accelerating Voltage : 0.2 ~30kV -. Magnification : x15 ~ x300,000 -. Resolution : 4nm -. Electron gun : tungsten-filament gun -. 분석 장비: EDS, WDS, BSE,-. 금속, 무기재료, 반도체, 섬유, 고분자, 천연재료 등 광범위 시료의 미세구조 관찰 -. 미생물과 금속, 무기 재료 등의 미세분말(powder) 시료의 입자 형태 및 크기 관찰 -. 동. 식물 세포의 미세구조 관찰 -. 반도체 등의 박막 두께 측정 |
장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201410/.thumb/20141022143457590.jpg |
장비위치주소 | 경남 창원시 성산구 성주동 28-1 한국전기연구원 제3연구동 1층 3108 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2014-12-194031 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0046581 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
---|---|
ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |