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장비 및 시설 기본정보
전계방사형주사전자현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Carl Zeiss |
| 모델명 | ULTRA PLUS |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2010-12-17 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 충북대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A206 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 전자파 또는 전자빔을 만들어낼 때 고체 물질 내에 들어있는 많은 수의 전자를 공중으로 띄워 내야 하는데 높은 전계(electric field)를 가하여 전자가 방출되도록 하는 것이 전계방출형 주사전자현미경이다. 전계는 모양이 뾰족할수록 커지기 때문에 끝부분의 직경이 100nm 정도의 매우 날카로운 팁을 사용한다.ㅇHigh resolution : 1nm at 20kV ㅇ4-quadrant solid-state backscattered detector (AsB) ㅇConventional secondary electron detector (Everhardt-Thornley) ㅇIn-lens secondary electron detector ㅇIn-lens energy and angle selective backscatter detector (EsB) ㅇMulti-mode scanning transmission electron microscope (STEM) detector ㅇEnergy dispersive X-ray (EDX) detector (Oxford instruments X-Max detector)ㅇ 바이오분야 시료의 표면형태 및 미세구조 관찰 ㅇ 금속 및 재료, 신소재분야 시료의 미세구조 관찰 ㅇ 박막, nano particles시료의 미세표면구조 관찰 ㅇ 고분자화합물, powder 시료의 미세표면구조 관찰 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201410/batch/.thumb/086130700046535450.JPG |
| 장비위치주소 | 충북 청주시 흥덕구 개신동 12 충북대학교 1층 108 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-11-193023 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0045893 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |