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박막 두께 측정기

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보유기관명	울산과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	F202
표준분류명
시설장비 설명	박막두께 측정기는 입사광과 반사광의 간섭에 의한 파장별 상쇄 및 보강을 측정하여 두께를 측정하는 장치이다. Ellipsometer보다 두꺼운 막 측정이 가능하며 사용법이 간편하고 빠르다는 장점이 있다. 또한 아주 좁은 부위의 측정이 가능하므로 미세 패턴 상에서 두께를 측정할 수 있다. - 광원에서 나온 빛이 광학계를 통해 박막에 입사되면 박막표면 및 기판과의 경계면에서 반사된 빛이 광섬유를 통하여 측정기로 들어온다. 이 반사광은 측정기 내의 Grating 등에 의해 파장별로 분리된 후에 CCD에 의해 전기적인 신호로 바뀌고 디지털 신호로 변환되어 Software에서 데이터를 해석하게 된다. - 2”에서 12”까지 다양한 크기의 wafer sample뿐만이 아니라 370*470 size까지의 glass sample의 측정이 가능하며 시료에 따른 Stage 및 맞춤형 프로그램으로 투과도 측정도 가능하게 되어있다.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201209/20120927132358.jpg
장비위치주소	울산과학기술대학교 자연과학관
NFEC 등록번호	NFEC-2012-09-171184
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0035128
첨부파일

기업조회