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장비 및 시설 기본정보
2MHz 고주파 발생장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | (주)에이에스엔지니어링 |
| 모델명 | APG-8002 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2016-10-13 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 국가핵융합연구소 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | D403 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 2 MHz 고주파 전원장치는 산업체에서 사용하는 건식 식각 공정의 최대 20 kHz 주파수의 펄스 형태를 가지는 고주파 전원을 인가하여 펄스 플라즈마를 발생시키는 것이 가능한 장비임 |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201611/20161103165936244.JPG |
| 장비위치주소 | 국가핵융합연구소 플라즈마기술연구센터 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2016-11-212782 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0062617 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |