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장비 및 시설 기본정보
레이저 간섭계
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | WYKO Co. |
| 모델명 | WYKO 6000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 1998-03-09 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국기초과학지원연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A400 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 레이저 간섭계를 이용하여 초정밀 가공부품의 구면 평면을 측정구성및성능 - Wave length : 632.8nm - 정밀도 : λ /100PV at 632.8 nm - Resolution : λ / 1024 - Trasmission sphere : f/0.75 f/3.2 f/7.0 - 6inch 까지 평면측정 가능 4inch 표면형상 측정 원리 레이저 간섭계(laser interferometer)는 시험 중에 축을 따라 연속적으로 움직이는 기계 슬라이드(slide)의 위치를 정밀하게 측정할 수 있다. 위치 기반의 기준 신호(reference signal)를 이용하여 레이저 간섭계 시스템을 동작시켜 위치에 기초한 데이터를 수집한다. 위치 신호는 기계 엔코더(encoder)를 이용하여 직접적으로 얻어진다. 연산 프로그램이 작동 중에 데이터를 획득하고 위치 오차를 ISO 230-2 표준규격에 따라 그림과 수치 형태로 위치 오차를 제시하도록 마이크로 컴퓨터를 이용하여 개발됐다.활용분야 - IT NT BT 기계분야 반도체분야 - 초정밀 가공물의 형상측정용 - 초정밀 부품의 표면 거칠기 측정용 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201106/.thumb/20110620140958.JPG |
| 장비위치주소 | 대전광역시 유성구 과학로 169-148 (어은동) 한국기초과학지원연구원 연구2동 1층 160 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-1995-11-056165 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0008573 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |