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엘립소메터

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보유기관명	포항공과대학교
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A408
표준분류명
시설장비 설명	특징 재료의 파괴없이 두께 및 n k 값 측정이 가능하다는 장점이 있고 얇은 막에 대한 감도가 좋다. 박막의 물리적 상태에 따라 n p 편광상태가 달라지는 성질을 이용한 측정방법이다. 유전체에 대한 수학적 모델을 이용하여 실험값과의 fitting을 통해 박막의 특성분석을 진행한다.구성 및 성능 Light source Optical fiber Polarizer Analyzer Monochromator Detector 등의 파트로 구성되어 있다. 1. Wavelength Range : 380nm ~ 1000nm (UV Option : 220nm ~ 1000nm) 2. Measurement Spot : ≤ 1.5mm 3. Thickness range : 1� ~ 10μm(depends on film type) 4. Number of layer : Up to 0layer (depends on film type) 5. Throughput : 15 ~ 20Sec. per point (depends on film type) 6. Reproducibility : ±0.3� on 10 times measurement 7. Precision : 1�활용분야 박막의 굴절률(Refractvie index) 및 흡수계수(Extinction Coefficient)를 측정
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/200806/.thumb/20080602171938.jpg
장비위치주소	경북 포항시 남구 효자동 산27 포항공과대학교 연구3동 1층 3102호
NFEC 등록번호	NFEC-2008-06-056067
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0008529
첨부파일

기업조회