| 보유기관명 |
한양대학교 ERICA캠퍼스 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
A410 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
레이져 몸체부; 및 상기 레이져 몸체부와 기계적으로 체결되어 있으며 레이져빔을 발생하여 리드 프레임 스트립상의 반도체 칩 패키지의 표면을 마킹하는 레이져 해드;를 포함하는 레이져 마킹장치에 있어서 2개의 레이져 해드가 상기 레이져 몸체부의 상·하면에 각각 기계적으로 체결되어 있으며 그 레이져 해드들에서 조사된 레이져빔에 의해 상기 리드 프레임 스트립상의 반도체 칩 패키지들의 양표면이 마킹되는 것을 특징으로 하는 상·하면에 이격된 레이져 해드를 갖는 레이져 마킹장치.
The issue of inspection and characterization of microstructures has emerged as a major consideration in design fabrication and detection of MEMS devices. However the conventional measurement techniques including scanning electron microscopy (SEM) imaging atomic force microscopy (AFM) scanning and mechanical surface profiler require often destructive process or may be difficult to measure with a wafer scale |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201207/.thumb/20120704162741.jpg |
| 장비위치주소 |
경기도 안산시 상록구 사3동 한양대학교 안산캠퍼스 제5공학관 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2012-07-166304 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0033830 |
| 첨부파일 |
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