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미니주사현미경

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보유기관명	한국에너지기술연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A206
표준분류명
시설장비 설명	1. 분해능 : 5nm 2. 배 율 : 20x ~ 100,000x 3. 디텍터 : 이차전자 (SEI), 후방산란전자 (BSEI) - Mulit View mode , - SE+BSE Merge Image, Compo, Topo 4. 주사모드 : High Speed Mode, Low Speed Mode, Photo Mode 1,2,3 5. 가속전압 : 1kV ~ 30kV (필요전압 추가가능) 6. 빔 소스 : 텅스텐(W) 필라멘트, 7. 집속렌즈 : 마그네틱 코일형 2단 렌즈 8. 대물렌즈 : 마그네틱 코일형 1단 렌즈 9. 비점장치 : 8극 전자기장 형 10. 검출방식 : E-T Detector(SE), 4Q Solid state Detector(BSE) 11. 영상이동 : 4극 전자기장형 12. 영상표시 : Monitor (22inch Full)
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201509/2015092315550596.jpg
장비위치주소	한국에너지기술연구원 연구동
NFEC 등록번호	NFEC-2015-09-205030
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0058662
첨부파일

기업조회