보유기관명 |
울산대학교 |
보유기관코드 |
|
활용범위 |
|
활용상태 |
|
표준코드 |
|
표준분류명 |
|
시설장비 설명 |
고진공 속에서 thermal source와 e-gun source로 박막제작 (ion-beam source가 설치되어 있음)1. turbo pump. 10-6 ~ -7mbar 2. e-gun source 3KW 3. ion-source 4. thichness monitor1. 간섭 필터 제작 2. solar control glass 제작 (박막) 3. 투명전도막 제작 4. 각종 유전체 박도체 박막 제작 |
장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/200702/.thumb/200702055890.jpg |
장비위치주소 |
울산 남구 무거동 울산대학교 산29번지 울산대학교 울산대학교 자연과학관 3층 322 |
NFEC 등록번호 |
NFEC-1999-07-030773 |
예약방법 |
|
카타로그 URL |
|
메뉴얼 URL |
|
원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0005317 |
첨부파일 |
|