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장비 및 시설 기본정보

진공증착기

장비 개요

기관명, 장비번호, 제작사, 모델명, 장비사양, 취득일자, 취득금액 순으로 구성된 표입니다.
기관명 ZEUS
장비번호
제작사 BALZERS
모델명 BAE 250T
장비사양
취득일자 1990-04-16
취득금액

보유기관 및 이용정보

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명 울산대학교
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드
표준분류명
시설장비 설명 고진공 속에서 thermal source와 e-gun source로 박막제작 (ion-beam source가 설치되어 있음)1. turbo pump. 10-6 ~ -7mbar 2. e-gun source 3KW 3. ion-source 4. thichness monitor1. 간섭 필터 제작 2. solar control glass 제작 (박막) 3. 투명전도막 제작 4. 각종 유전체 박도체 박막 제작
장비이미지코드 http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/200702/.thumb/200702055890.jpg
장비위치주소 울산 남구 무거동 울산대학교 산29번지 울산대학교 울산대학교 자연과학관 3층 322
NFEC 등록번호 NFEC-1999-07-030773
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0005317
첨부파일

추가정보

과학기술표준분류, ICT 기술분류, 주제어 순으로 구성된 표입니다.
과학기술표준분류
ICT 기술분류
주제어 (키워드)