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장비 및 시설 기본정보
다층박막증착시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 코리아바큠테크(주) |
| 모델명 | |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 1998-11-01 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 가천대학교 글로벌캠퍼스 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 다층박막시스템 Multi-layer Depositon System - 고진공 상태에서 금속 및 세라믹 물질을 증착하여 스퍼터링법 및 진공증착법을 통하여 다층의 박막을 제조하는 장비1. Sputter process Chamber 2. Evaporator process Chamber 3. Frame and Control Box 4. Vacuum pumping unit |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/200702/.thumb/200702050998.jpg |
| 장비위치주소 | 경기 성남시 수정구 복정동 산 65-2 가천대학교 글로벌캠퍼스 새롬관 1층 113 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-1999-04-024818 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0004680 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |