| 보유기관명 |
한국과학기술원 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
C501 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
마스크얼라이너는 식각공정이나 상부전극증착공정에 앞서 시편 표면에 만들어줄 전극의 모양을 시편에 새기기 위한 작업을 하기 위한 장비다.감광물질을 도포한 박막시편 위에 만들고자하는 2차원 패턴이 양각이나 음각으로 새겨진 마스크(얇은 판)를 밀착시켜 자외선을 쪼여주어서 투명한 부분 아래 영역만 감광물질이 제거되도록 하는 공정을 수행하는 장비이다. 궁극적으로는 마스크얼라이너를 이용해 앞서 설명한 공정을 끝낸 시편에다가 전극을 증착하여 원하는 형태의 상부전극을 얻는다.
이 장비는 크게 시편과 마스크를 로딩하는 부분과 마스크를 샘플의 원하는 부분에 정렬시키기 위한 이송장비 및 현미경 그리고 제어컴퓨터로 구성되어 있다.null |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201203/.thumb/20120320125230.jpg |
| 장비위치주소 |
대전 유성구 구성동 한국과학기술원 373-1 한국과학기술원 KI빌딩 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2012-03-156254 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0031433 |
| 첨부파일 |
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