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장비 및 시설 기본정보
디지털 전자 현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Keyence |
| 모델명 | VHX-600E |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2009-08-18 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A204 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 반도체 소자를 위한 에피 성장 후 에피의 결함 상태 확인 및 반도체 소자의 미세 구조 공정 시 공정 상테를 디지털 현미경으로 관찰하여 정확한 소자 제작을 하기 위하여 사용함. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201509/2015091595011168.jpg |
| 장비위치주소 | 광주과학기술원 정보통신 A동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-04-078888 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0017490 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |