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웨이퍼 본더

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보유기관명	한국전자통신연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C514
표준분류명	분석
시설장비 설명	1. 웨이퍼 본더는 웨이퍼와 웨이퍼를 접합하는 장비로서 접합에 사용하는 웨이퍼는 멤스 웨이퍼와 글래스 웨이퍼 또는 멤스 웨이퍼와 실리콘 웨이퍼 LED 웨이퍼와 메탈 웨이퍼를 접합할 때 적용하는 장비임 2. 특히 멤스 웨이퍼는 웨이퍼의 표면에 존재하고 있는 구조물을 캡웨이퍼를 접합하여 구조물이 손상되는것을 보호해 주어야 하며 이러한 보호층이 없을 경우에는 패키지 비용이 매우 많이 소요되기 때문에 초소형 센서 소자는 필수적으로 캡 웨이퍼를 이용하여 접합하여야 한다. 3. 접합 물질로는 솔더를 사용하고 있으며 장비는 온도 400도 이상에서도 접합할 수 있는 장비이며 접합 정밀도는 +/- 10마이크론정도를 유지할 수 있는 장비임
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201101/20110117160230.JPG
장비위치주소	한국전자통신연구원 4동
NFEC 등록번호	NFEC-2011-01-151259
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0022101
첨부파일

기업조회