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장비 및 시설 기본정보

저온 측정용 프로브 스테이션

장비 개요

기관명, 장비번호, 제작사, 모델명, 장비사양, 취득일자, 취득금액 순으로 구성된 표입니다.
기관명 ZEUS
장비번호
제작사 우신크라이오백
모델명 OmniProbe, Vacuum Probe Station
장비사양
취득일자 2010-09-17
취득금액

보유기관 및 이용정보

보유기관명, 보유기관코드, 활용범위, 활용상태, 표준코드, 표준분류명, 시설장비 설명, 장비이미지코드, 장비위치주소, NFEC 등록번호, 예약방법, 카타로그 URL, 메뉴얼 URL, 원문 URL, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
보유기관명 광주과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드 C514
표준분류명 시험
시설장비 설명 본 장비는 극저온 진공 6프로브 스테이션 장비로 반도체 샘플의 특성 평가를 여러 방면으로 할 수 있는 장비이다. 본 장비를 이용하여 온도 바이어스 진공도 가스 등에 따른 샘플의 특성변화를 측정 할 수 있는 장비로서 반도체 샘플이나 초소형 샘플의 특성을 측정 할 수 있는 다용도 장비 이다. Optical table을 사용함으로서 주변의 진동을 막아 줄 수 있고 Microscope와 CCD camera의 사용으로 초소형 샘플측정도 가능하다. 또한 진공상태 내(진공도 10-7 torr)에서 실험 이므로 온도변화를 더욱 효율적으로 만들고 온도 변화시 샘플의 Damage또한 방지 할 수 있다. 70K에서 500K 범위의 온도를 조절할 수 있는 controller가 있어 저온 및 고온 테스트에 적용하기 용이한 장비이다.
장비이미지코드 http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201404/20140424174022604.jpg
장비위치주소 광주과학기술원 신소재공학동
NFEC 등록번호 NFEC-2011-01-133818
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0022072
첨부파일

추가정보

과학기술표준분류, ICT 기술분류, 주제어 순으로 구성된 표입니다.
과학기술표준분류
ICT 기술분류
주제어 (키워드)