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장비 및 시설 기본정보
유기물 증착유닛 및 샘플이송 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 에스엔텍 |
| 모델명 | MEP5000 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2008-03-03 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국항공대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C503 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 기판위에 박막을 형성하는 기구로 유기물 소스를 세라믹 도가니에 넣어 장착하면 3개의 effusion cell이 가열되면서 기화된 물질이 기판에 증착되는 원리를 이용함. Effusion Cell For Organic Material with Power Supply Effusion Cell Filament : Single type Thoria-W or Ta wire Capacity : 10cc - Power Supply Input Power : AC 1 Phase 220V - Cooling Available - Pneumatic Shutter Include Vacuum Loadlock System - Aluminum Chamber - Mechanical Rotary Pump 구성및성능 OLED 발광에 필요한 각종 유기물 박막 증착 shutter fhickness gauge power controler 도가니활용분야 OLED 발광에 필요한 각종 유기물 박막 증착 power controler를 사용하여 도가니에 고온이 열을 가해준다. 세개의 cell이 있으며 각각 구분된 power controler에 영향을 받는다. 도가니 마다 셔터가 있으며 열에 의해 기화된 물질은 thickness gauge에 의해 두께로 측정된다. |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110131150759.jpg |
| 장비위치주소 | 경기 고양시 덕양구 화전동 한국항공대학교 190번지 한국항공대학교 중소벤처육성지원센터 1층 105호 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2009-10-074260 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0014274 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |