| 시설장비 설명 |
1.Glovebox 는 작업 공간인 메인 챔버(main chamber), 메인 챔버와 외부를 연결해 주는 antechamber, 메인 챔버 내부를 정화시켜 주는 purifier unit, 메인 챔버 내부의 수분 및 산소 농도를 알려주는 센서 등으로 이루어짐 2. 메인 챔버가 산소 및 수분에 민감한 물질을 다루는 주작업 공간이며, 메인 챔버 내부 gas로는 아르곤 혹은 질소 등의 불활성 gas가 쓰임 3. antechamber 는 메인 챔버와 외부 사이의 중간자 역할을 하며, antechamber를 진공 펌프를 이용하여 진공을 걸어준 후 불활성 gas 로 치환하여 메인 챔버와 같은 불활성 환경을 생성하여 중간자 역할을 수행함 4. 메인 챔버 내부의 gas 는 공급 gas, 장갑을 통한 침투, 작업자의 실수 등으로 수분 및 산소의 농도가 높아질 수 있는데, 내부 gas 가 molecular sieve 및 copper 로 이루어진 purifier unit을 지속적으로 순환하면서 수분 및 산소의 수준이 낮아짐 5. 메인 챔버 내부의 압력은 자동적으로 특정 범위(대기압 대비 2~6mbar) 정도로 조절되며, 압력이 낮으면 공급 gas를 끌어오게 되고, 압력이 높으면 진공 펌프를 통해서 압력을 낮추게 됨 6. 메인 챔버 내부의 압력은 페달을 누르거나 antechamber와 메인 챔버 사이의 밸브를 열어서도 조절할 수 있음 7. Glovebox 내부의 수분 및 산소 농도를 일정 수준으로 관리하기 위해서는 각각의 센서를 통해서 지속적으로 수분 및 산소 농도를 모니터하는 것이 필요 |
