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고 면저항 측정장치

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보유기관명	나노종합기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	D102
표준분류명
시설장비 설명	면저항(4Point Probe)측정 장비로 반도체 관련 물질들의 전기전도도 측정에 사용되며 특히 고저항 측정에 특화되어 있음. 장비는 Sem-Auto로 구성되어 조작이 용이하며 쉽게 사용할 수 있음장비는 Stage Probe Head Tip PC 등으로 구성되어 있으며 측정은 Sem-Auto로 이루어지며 Sample load와 측정 작동시에 명령만 필요함 - Semi-Auto - 측정범위 : 1 mm Ω/□ ~ 8G Ω/□ - Mapping - P/N Type 측정- Si wafer(평판)위에 형성된 Al W Ti TiN Au......등 필름 형태의 모든 시편에 대해 측정 가능 - 또한 Implantation 공정 후 Dopping량에 따른 저항의 변화를 측정할 수 있음
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201402/.thumb/2014021013421864.JPG
장비위치주소	대전 유성구 어은동 대전 유성구 대학로 291 (어은동 53-3) 카이스트 부설 나노종합기술원 나노종합기술원 1층
NFEC 등록번호	NFEC-2014-02-185724
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0041626
첨부파일

기업조회