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대용량 터보 펌프 2

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보유기관명	광주과학기술원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C610
표준분류명
시설장비 설명	대용량 챔버를 고진공으로 유지하기 위해 필요한 진공 펌프임. 다른 고진공 펌프에 비해 작동의 시작및 종료의 과정이 단순하고 시간이 적게 걸림. 빠르게 회전하는 터빈 형태의 날개로 진공 챔버 내에 남아 있는 원자 및 분자를 배출하여 고진공을 유지함. 약 40000 rpm의 고속으로 회전하는 회전자의 날개들이 그들의 영역으로 들어온 분자를 쳐 그 운동방향을 펌프의 배출구 쪽으로 향하게 함. 따라서 수소나 헬륨처럼 분자 열운동 속도가 큰 기체에 대한 배기속도는 떨어짐. 최종압력 10^-9 torr 이하 펌핑속도는 질소 기준으로 ATH 2300M 터보펌프는 1초당 2200 리터 이상임. 본 터보 펌프는 드라이 펌프와 같은 backing 펌프와 동시에 연결되어야 정상적인 동작이 가능함.
장비이미지코드	http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201202/20120201100127.jpg
장비위치주소	광주과학기술원 극초단 광양자빔 특수연구동
NFEC 등록번호	NFEC-2012-02-153514
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0030946
첨부파일

기업조회