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장비 및 시설 기본정보
고온금속진공증착 및 자동제어 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 참트론 |
| 모델명 | CH-MEVA II |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-02-03 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국화학연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C504 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 및 기능 - 고온용 금속 소스 증착가능 - 자동화 시스템 - 고온용 금속을 진공하에서 증착하기 위해 고전류의 파워 서플라이 사용 - 증발된 금속이 기판에 증착되어 금속 전극을 형성함. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201203/20120303102015.jpg |
| 장비위치주소 | 한국화학연구원 1연구동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2012-03-154974 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0031190 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |