| 보유기관명 |
한국표준과학연구원 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
C107 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
null반자동 Diamond sawing machine으로서 Disco사의 DAD3230모델임. 구체적인 규격은 절단가능한 웨이퍼 사이즈는 6인치까지 이고
cutting range는 x-축 220 mm transfer speed는 0.1-500 mm/s y-축 cutting range는 162 mm index step은 0.0001 mm position accuracy는 0.005 mm 이하 z-축 stroke는 32.2 mm moving resolution 0.00005 mm repeatable accuracy 0.001 mm maximum blade size 50 mm diameter임. Spindle 회전각도는 최대 320도 회전속도는 3000-40000회/분null |
| 장비이미지코드 |
http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201107/.thumb/20110718154902.JPG |
| 장비위치주소 |
대전 유성구 도룡동 452 한국표준과학연구원 응용물리동 217 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2011-03-145189 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0029013 |
| 첨부파일 |
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