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장비 및 시설 기본정보
포토 다이오드 정렬기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Emtec |
| 모델명 | WCS-700LED |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-04-22 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국광기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C526 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | Photo diode의 전기적 광학적 특성을 측정하기 위해 정렬하기 위한 장비로최대 6인치 기판의 Photo diode칩을 정렬할수 있는 장비로 대량생산의 칩의특성을 측정하는 장비임ㅇ가능 chip size : 0.25 ～ 1.00mm ㅇ가능 wafer size : 최대 6인치 ㅇTray size and number of trays arranged : 2인치 tray(최대 20units) ㅇRing stage : Flat ring(6인치 ring) ㅇNeedle : φ 0.7m / tip 100μR ㅇIon blow : KEYENCE ㅇZoom type microscope : ×0.3 ～ ×0.5 ㅇRing table : X-axis stroke(210mm) Y-axis stroke(210mm) ㅇTray table : Y-axis stroke(270mm) ㅇTec time : 0.85sec ㅇChip storage function : ±100um |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110125154433.JPG |
| 장비위치주소 | 광주 북구 월출동 971-35 한국광기술원 실험동 1층 메인클린룸 바칩 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-12-126375 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0018115 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |