대기압용 QMS (HDR-20 R&D)
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Hiden Analytical |
모델명 | HDR-20 RD |
장비사양 | |
취득일자 | 2013-05-20 |
취득금액 |
보유기관명 | 국가핵융합연구소 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | B703 |
표준분류명 | 시험 |
시설장비 설명 | -Quadripole Mess Spectrometer 란 4개의 전극기둥에 RF 전위를 주고 기둥의 사이로 이온화된 화학종을 핀홀을 통하여 통과하도록 하여 해당 화학종이 핀홀로 부터 기둥에 충돌할 때까지의 거리결과를 이용하여 화학종의 분자량 또는 원자량을 측정하여 정량하는 장치 -이때 이온화된 입자는 RF 전위가 제공하는 전기장에 의하여 전극기둥 방향으로 Drift를 하게 되는데, 입자의 무게에 따라 전극기둥에 충돌하기 전까지 비행하는 거리가 달라짐 (무거운 입자는 더 멀리 비행) -일반적으로 대상 가스는 Sampling 후 10-6 torr 의 진공 형성부에서 필라멘트 방전에 의하여 플라즈마 상태가 되어 가속되고 핀홀을 거쳐 QMS 영역으로 도입됨 |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201405/20140512233052147.jpg |
장비위치주소 | 국가핵융합연구소 플라즈마기술연구센터 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2014-05-188065 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0053377 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |