- HOME
- 홈페이지 이용안내
장비 및 시설 기본정보
축소노광기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Hitachi |
| 모델명 | LD5011iA |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2007-10-12 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 경북대학교 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C501 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 i-line source를 이용한 1:5축소 노광구성및성능 "* Wavelength: = 365nm only * Magnification: 1.5배 축소노광 * Wafer Thickness : 500nm 700um * 기판크기 : 6inch Wafer * 분해능 : 1.3um Pitch(Line 0.5um+ Space0.8um) * Light Source : Mercury Lamp 600W " 1:5 축소노광 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201404/.thumb/2014040414759717.jpg |
| 장비위치주소 | 대구 북구 산격3동 경북대학교 1370 경북대학교 반도체연구동 지하1층 B109 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2007-12-050966 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0007892 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |