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장비 및 시설 기본정보
일립소미터
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Semilab |
| 모델명 | GES-5E |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2014-04-04 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 구미전자정보기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A408 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | Ellipsometer는 반도체 FPD LED Solar Cell등의 부품소재에 사용되는 박막의 굴절률을 측정하기 위한 장비로서 광학적인 방법으로 측정할 수 있는 수 Å ~ 수 ㎛ 두께 범위의 단층 및 다층 박막의 두께 굴절률을 측정하는 장비임.장비 구성 ◎ 분광 엘립소미터 1. UV 광원 2. 스텝 모터 구동형 편광 모듈 3. Retarder 모듈 4. 제어 및 전장 모듈 5. 스텝 모터 구동형 아날라이져 모듈 6. 소프트웨어 7. PC 시스템 8. 스펙트로 그래프 분광 셋 9. 수동 입사각 조정(45˚~90˚ 5˚Step) 10. Si solar cell 스테이지 성능 1. 파장 영역 : 300nm ~ 900nm 2. 빔 스팟 크기 : ≥ 1.5mm 3. 측정 상수 : 막질 두께 파장 영역 내 굴절률 소광계수 4. 측정 가능 두께 : sub Å ~ 10㎛(박막의 종류에 따라 다를 수 있음)1. 반도체 FPD LED Solar Cell등을 제조시 증착하는 여러 종류의 박막에 대한 두께 측정 및 광학특성을 샘플의 손상없이 측정 2. Solar cell texturing 된 샘플의 비파괴 비접촉식으로 정밀 측정 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201404/.thumb/2014042314223513.jpg |
| 장비위치주소 | 경북 구미시 산동면 봉산리 첨단기업 1로 17 구미전자정보기술원 대경권태양광테스트베드센터 1층 104 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2014-04-186933 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0044224 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |