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장비 및 시설 기본정보
이차이온질량분석기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Cameca |
| 모델명 | IMS 7f |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2008-09-11 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국표준과학연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B605 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징: 고체물질의 구성 성분 원소 상대적인 농도 및 깊이에 따른 분포도를 분석하는 표면분석 장비이다. 세슘이온과 산소이온 등 일차이온을 분석시편에 조사할 때 튀어나오는 이차이온을 분석하는 방법으로 마그네틱섹터형의 이차이온질량분석기이다. 반도체 및 태양전지등의 첨단 소재 분석에 활용된다. 구성: SIMS 본체 냉각수 순환 장치 무정전전원장치 컴퓨터 시스템 등 이온빔을 이용하여 고체 시편의 구성 원소 농도 및 깊이분포도를 측정함구성및성능 이차이온빔: O2 Ar Cs 에너지: 0.5 ~ 15 keV활용분야 미량성분 정량분석 깊이분포도 분석 이온매핑 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201105/.thumb/20110512093752.jpg |
| 장비위치주소 | 대전광역시 유성구 가정로 209 신소재동(301) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2009-06-071382 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0012924 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |