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장비 및 시설 기본정보
주사전자현미경
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 성우테크 |
| 모델명 | SM-300 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2003-09-26 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국표준과학연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A0 |
| 표준분류명 | 계측 |
| 시설장비 설명 | SEM으로 약기. 시료 표면을 전자선으로 주사하여 입체 구조를 직접 관찰하는 기능을 가진 전자현미경. 투과형 전자현미경으로 두꺼운 시료의 입체구조를 관찰하려고 할 경우에는시료를 비스듬히 놓고 입체사진을 찍거나 간접적으로 표면구조를 보는 레플리카법에 따라야 하는데 주사형 전자현미경은전자렌즈 상에 작게 조여진 전자선으로 시료 표면을 주사하고시료 표면에서 발생하는 이차전자 반사전자 등을 증폭시켜 그양자강도를 휘도로 변환시켜 브라운관에 결상시킨다. 시료 내의 원소에서 발생하는 특성 X선을 분석하는 X선 마이크로애널나이저와 병용하여 시료 내에 있는 특정 원소의 검출이나분포를 해석하는 수단으로도 널리 사용하고 있다. 보통은 분해능이 10~20nm이지만 개량된 것은 대단히 고도의 분해능을나타내어 미세구조의 해명에 크게 기여하고 있다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20161011131105_20110622000000110112 NFEC-2011-06-145752.jpg |
| 장비위치주소 | 한국표준과학연구원 첨단산업측정인증동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2011-06-145752 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0029328 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |