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광학현미경 with UV

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보유기관명	전자부품연구원
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	A201
표준분류명
시설장비 설명	1. 주요 특징 본 연구 장비는 광특성 분석이 가능한 형광현미경으로써 반도체 및 디스플레이 샘플의 배율별 샘플 사진 촬영 및 치수 계측이 가능한 특징을 가지고 있으며 소자 불량 분석이 가능함.2. 구성 및 성능 + Substrate Size : 370*470 mm + Illumination Source : 12V/100W Halogen + Z-travel Range : 25mm + Focus : Auto Focus(Repeatability : ≤0.1 ㎛) + Z-Position Memory + Field of View : 25mm + Objectives : 1.6X~150X + Contrast Modes : Brightfield Darkfield + Fluorescence and UV(365nm) + Software : Scale Measurement3. 주요 용도 + 다양한 광특성 분석이 가능한 형광현미경임. + 반도체/디스플레이 기판의 표면 형상 분석이 가능함. + 소자 불량 분석이 가능함. + Bio 재료 분석이 가능함.
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110118170157.JPG
장비위치주소	전북 전주시 덕진구 팔복동2가 820번지 전자부품연구원 나노기술집적센터 1층
NFEC 등록번호	NFEC-2008-08-063625
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0009431
첨부파일

기업조회