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장비 및 시설 기본정보
정밀 이온빔 밀링기(냉각 스테이지)
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Gatan |
| 모델명 | 691 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2012-12-27 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 광주과학기술원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B105 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | TEM sample 제작 시 일반적으로 많이 사용하는 정밀 이온빔밀링기이다. 분석하고자 하는 device를 sample statge에 올린 후 적절한 각도 및 이온 에너지 조건에서 일정 시간동안 밀링하여 제작한다. 또한 시료를 저온상태로 유지시켜주어 좀 더 정밀한 milling이 가능하도록 liquid nitrogen cooling stage 옵션을 추가하였다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201304/20130430133924650.jpg |
| 장비위치주소 | 광주과학기술원 신소재공학동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2013-05-178578 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0040286 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |