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장비 및 시설 기본정보
열 및 전자선 진공 증착 장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Temescal |
| 모델명 | fc-1800 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2000-06-13 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전자통신연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C504 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | 본 장비는 고진공 상태에서 전기적인 열을 발생시키거나 전자선을 이용하여 금속 표면에 열을 가하여 기체 상태로 반도체 웨이퍼 및 기타 기판에 금속의 박막을 균일하게 증착시키는 장비이다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201503/201503161749043.JPG |
| 장비위치주소 | 한국전자통신연구원 4동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-03-200163 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-ETRI-00005 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |