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장비 및 시설 기본정보
접촉식 패턴 정렬 노광기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Karl Suss |
| 모델명 | MA6 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 1999-06-28 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국전자통신연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C501 |
| 표준분류명 | 분석 |
| 시설장비 설명 | 본 장비는 반도체 웨이퍼에 UV 광원을 이용하여 미세패턴을 정렬한 다음 그 위에 다른 패턴을 형성시킬때 사용되는 장비로서 5인치 90mil 두께의 마스크를 사용하여 공정을 진행한다. |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201712/20161006110640_20150316000000189321 NFEC-2015-03-200162.jpg |
| 장비위치주소 | 한국전자통신연구원 4동 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2015-03-200162 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-ETRI-00001 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |