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사이알론시편에칭시스템

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보유기관명	재료연구소
보유기관코드
활용범위
활용상태
표준코드	C503
표준분류명
시설장비 설명	-소결한 사이알론 소재의 미세구조를 전자현미경으로 관찰하기 위해 표면 에칭이 필요함. -일반적으로 사이알론 소재의 에칭은 CF4 가스를 사용하는 플라즈마 에칭을 실시함. 구매하고자 하는 장비는 플라즈마 에칭 장비.Vacuum Processing Chamber Bias Source Back side He Cooled Unit Temperature Control of bottom chuck with Heat Exchanger Gas Inlet-2012년도 연구소자체사업(실용화사업) "응용아연도금라인(CGL)용 내마모성 사이알론 롤베어링 개발" 과제에서 사이알론 소결 연구를 수행 중에 있음.
장비이미지코드	http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201305/.thumb/20130529162748987.JPG
장비위치주소	경남 창원시 성산구 상남동 66번지 재료연구소 연구 1동 3층 1353
NFEC 등록번호	NFEC-2013-05-178916
예약방법
카타로그 URL
메뉴얼 URL
원문 URL	http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0039135
첨부파일

기업조회