| 시설장비 설명 |
특징 고체표면의 원자층 분해능의 미세구조분석 반도체 소재에서의 불순물 분포분석 특성: 공기 및 액상에서 시료의 나노형상을 측정할 수 있는 원자현미경으로 시료 및 탐침 장착이 간편하며 시료이미징시 안정적 스캔을 할 수 있는 원자현미경 유닛이다. 구성: 레이저 및 PSPD 검출기를 이용하여 캔틸레버 변위를 측정하며 레이저 얼라인먼트 및 검출기 얼라인먼트가 쉽게 설계되어 있다. 시료의 장착 및 탈착이 쉽도록 구성되어 있다. 스캐너는 대형시료 장착 및 스캔을 위하여 100x100 umxum 영역을 스캔할 수 있으며 수평분해능 0.1 nm 수직분해능 0.01 nm 수준을 유지한다. 성능: 일반적 원자현미경의 성능뿐만 아니라 나노리소그래피를 수행할 수 있는 하드웨어가 장착되어 있다. 액상에서 나노이미징이 가능하도록 팁홀더 및 시료장착부분이 특성화되어 있다. 활용분야: 나노형상측정 나노물질간 상호작용 측정 나노리소그래피 나노스케일 전위측정 축전 전하량 측정 등이 가능하다. 나노스케일 형상 측정 |
