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장비 및 시설 기본정보
정밀이온밀링장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Gatan |
| 모델명 | 691 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-10-19 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국원자력연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | B105 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | TEM 시편 가공용 이온밀링장치1) Ion source -Ion guns : two Penning ion guns with rare earth magnets -Milling angle : +10 o to -10 o -Ion beam energy : 100 eV to 6.0 keV -Beam diameter : 350 ㎛ FWHM at 5 keV - 800 ㎛ FWHM at 5 keV -Ion current density : 100 mA/㎠ peak -Beam alighnment : precision beam alignment using fluorescent screen 2) Specimen stage -Sample size : 3 mm or 2.3 mm -Rotation : 1 - 6 rpm -Beam modulation : single or double sector -Viewing : binocular microscope 40x or 80x. CCD imaging with 17" LCD monitor |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201101/.thumb/20110129171653.JPG |
| 장비위치주소 | 대전광역시 유성구 대덕대로 1045(덕진동 150-1) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2006-08-043160 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0006754 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |