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장비 및 시설 기본정보
마그네트론 스퍼터링 장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Aja International |
| 모델명 | 모델명 없음 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2003-11-06 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | C500 |
| 표준분류명 | 기타 |
| 시설장비 설명 | 특징 스핀 트랜지스터 및 터널링 접합소자 제조. 초고진공에서 3인치 이상의 웨이퍼에 균일한 박막의 증착. 구성및성능 1. Main Deposition Chamber - Chamber Top Flange - Chamber Body 2. Vacuum Pumping 3. Magnetron Sputter Source & Options4. Power Supplies Main Chamber5. Power Supplies Load-Lock6. Gas Handling 7. Pressure Control/Valving8. Vacuum Gauges9. Substrate Holder10. Computer Control System 11. Load-Lock 12. thickness Monitor13. Control System14. Performance Specifications |
| 장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201310/20131024113736692.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 청정연구동(L6) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2005-02-028801 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0049890 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |