| 보유기관명 |
한국전기연구원 |
| 보유기관코드 |
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| 활용범위 |
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| 활용상태 |
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| 표준코드 |
C514 |
| 표준분류명 |
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| 시설장비 설명 |
용액공정 전기/전자소자 제작 시스템은 반도체 및 전도성 나노카본 소재 산소와 수분의 노출에 취약한 용액공정용 유기물 반도체 수분 노출에 민감한 산화물 반도체 등을 활용한 다양한 광/전기/전자소자 제작 및 전기/전자적 특성 평가를 위해 필수적이며 질소와 같은 비활성 기체 분위기의 글러브 박스 (Glove box) 및 금속 열증착기 (metal thermal evaporator)로 구성된 일체형 제작공정 시스템이다. |
| 장비이미지코드 |
http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201308/2013082185725413.jpg |
| 장비위치주소 |
한국전기연구원 제3연구동 |
| NFEC 등록번호 |
NFEC-2013-08-182287 |
| 예약방법 |
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| 카타로그 URL |
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| 메뉴얼 URL |
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| 원문 URL |
http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-KERI-00009 |
| 첨부파일 |
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