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장비 및 시설 기본정보
초전도 재료 합성장치
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | 유성엔지니어링 |
| 모델명 | HB-SRID2-4 |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 1998-01-01 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 기술표준원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | DC/RF sputtering 방법에 의한 초전도 박막의 제작3 GUN (rf:1EADC:2EA) 4 HEATER (0~900도씨)Vacuum 3e-7torrRF sputtering을 이용 700C에서 YBCO 박막의 제작- DC sputtering을 이용 금속 박막의 제작 |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/200702/.thumb/200702061364.jpg |
| 장비위치주소 | 차세대산업부 신뢰성기술과 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-1999-09-029648 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0005197 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |