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장비 및 시설 기본정보
위상 변조 분광 타원 해석기
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Horiba |
| 모델명 | UVISEL LT-FGMS |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2010-04-23 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | A408 |
| 표준분류명 | |
| 시설장비 설명 | 특징 본 장치는 Sample에 특별한 전처리 과정 없이 Sample의 하기와 같은 정보를 분석할수 있다. 1. 물질 특성 - Alloy composition - Microstructure and crystallinity - Film uniformity by area and depth 2. 두께 측정 - Accurate thin film measurement from a few angstroms to several tens of microns - Characterization of single layer and complex multilayer stacks - Characterization of surface (roughness native oxide) and interface 3. 광학 특성 - Refractive index (n) and extinction coefficient (k) from the UV to IR for complex materials graded and anisotropic layers - Optical bandgap (Eg)구성 및 성능 1) UV-VIS MONOCHROMATOR - Spectral Range : 210 - 880 nm 2) MANUAL GONIOMETER FOR EX-SITU APPLICATIONS - from 55° to 75 ° by step of 5° 3) MANUAL SAMPLE STAGE - Maximum sample size : 6 “ 4) Measurable range - 0.1nm - about 5um 5) UV-VIS MONOCHROMATOR - Spectral Range : 210 - 880 nm - Focal length : 200 mm 5) Autocollimating system for sample positioning. 6) Fully stabilized 75W Super Quiet High Pressure Xenon arc lamp - spectral range : 190 nm ~ 2100 nm 7) Operation computerSample에 특별한 전처리 과정 없이 Sample의 하기와 같은 정보를 분석 두께 측정- Accurate thin film measurement from a few |
| 장비이미지코드 | http://nfec.ntis.go.kr/storage/images/equip/photo/201109/.thumb/20110919172534.jpg |
| 장비위치주소 | 전북 완주군 봉동읍 은하리 산101번지 전북분원 한국과학기술연구원 전북분원 연구동 2층 R1262 |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2010-05-079788 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | http://www.zeus.go.kr/equip/read?equipId=Z-NTIS-0017758 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |