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장비 및 시설 기본정보
표면 프로파일 측정 시스템
장비 개요
| 기관명 | ZEUS |
|---|---|
| 장비번호 | |
| 제작사 | Kla-tencor |
| 모델명 | Alpha-Step IQ |
| 장비사양 | |
| 취득일자 | 2005-06-20 |
| 취득금액 |
보유기관 및 이용정보
| 보유기관명 | 한국과학기술연구원 |
|---|---|
| 보유기관코드 | |
| 활용범위 | |
| 활용상태 | |
| 표준코드 | F202 |
| 표준분류명 | 계측 |
| 시설장비 설명 | 과제명 : 비 In계 투명도전산화물 박막재료 및 저온공정기술개발 주관기관 : 한국과학기술연구원 연구책임자 : 김원목 과제번호 : 2E18500(301010202) / KIST 기관고유사업 특징 - 미소한 힘으로 제어된 stylus를 사용하여 측정하고자 하는 시편의 표면을 스캔하여 시료 표면의 요철 정도의 단차를 이용하여 두께 정보를 측정하는 장비로서 박막재료의 연구 수행 중 제작되는 시편의 두께 측정 및 소자 시편의 단차 측정을 위한 장비. |
| 장비이미지코드 | https://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/201310/2013102314036577.jpg |
| 장비위치주소 | 한국과학기술연구원 연구동(L0) |
| NFEC 등록번호 | NFEC-2005-11-044095 |
| 예약방법 | |
| 카타로그 URL | |
| 메뉴얼 URL | |
| 원문 URL | https://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0054643 |
| 첨부파일 |
추가정보
| 과학기술표준분류 | |
|---|---|
| ICT 기술분류 | |
| 주제어 (키워드) |