박막열전도율 측정장치
기관명 | ZEUS |
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장비번호 | |
제작사 | Fraunhofer Ipm |
모델명 | KMS-02 |
장비사양 | |
취득일자 | 2007-07-11 |
취득금액 |
보유기관명 | 한국기계연구원 |
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보유기관코드 | |
활용범위 | |
활용상태 | |
표준코드 | F102 |
표준분류명 | |
시설장비 설명 | 특징 MEMS 공정에 의하여 형성된 박막(20 ㎛ 이하) 형태의 고체상태의 물질의 주요 물 성치인 열전도율을 3-Omega 방법에 의하여 매우 정밀하게 측정 |
장비이미지코드 | http://www.zeus.go.kr/storage/images//equip/photo/200712/20071227133258.JPG |
장비위치주소 | 한국기계연구원 메카트로닉스연구동 |
NFEC 등록번호 | NFEC-2007-12-049935 |
예약방법 | |
카타로그 URL | |
메뉴얼 URL | |
원문 URL | http://www.zeus.go.kr/resv/equip/read/Z-NTIS-0012328 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
주제어 (키워드) |